Original title: Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC
Translated title: Diagnostic of semiconductor materials by EBIC method
Authors: Kuznetsov, Vitalii ; Vaněk, Jiří (referee) ; Čudek, Pavel (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2024
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Bakalářská práce se zabývá diagnostikou polovodičových materiálů metodou EBIC (měření proudu indukovaného svazkem) s využitím rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM). Práce popisuje princip činnosti rastrovacího elektronového mikroskopu, vysvětluje interakci elektronů s pevnou látkou a metodu EBIC. V teoretické části je také objasněn princip elektrické vodivosti polovodičů. Pomocí metody EBIC lze zkoumat dobu života a difuzní délku minoritních nosičů v polovodičích, na což je právě zaměřena praktická část práce. The bachelor's thesis deals with the diagnostics of semiconductor materials by the EBIC method (beam induced current measurement) using a scanning electron microscope (SEM). The thesis describes the principle of operation of the scanning electron microscope, explains the interaction of electrons with a solid substance and the EBIC method. The principle of electrical conductivity of semiconductors is also explained in the theoretical part. Using the EBIC method, the lifetime and diffusion length of minority carriers in semiconductors can be investigated, which is what the practical part of the work is focused on.
Keywords: carrier lifetimes; diffusion length.; electron beam inducted current; interaction of PE with solid; Scanning electron microscope; semiconductors; difuzní délka nosičů.; doba života nosičů; interakce PE s pevnou látkou; měření proudu indukovaného svazkem; polovodiče; Rastrovací elektronový mikroskop

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: https://hdl.handle.net/11012/246875

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-619764


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses