Original title: Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Translated title: MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites
Authors: Šeda, Miroslav ; Musil, Vladislav (referee) ; Ficek, Richard (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2008
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru. The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
Keywords: carbon nanotubes; deposition; etching; litography; Micro – electro – mechanical - sytems; physical vapour deposition scanning electron microscopy.; plasma enhanced chemical vapour deposition; depozice; depozice z pevné fáze; depozice z plynné fáze; leptání; litografie; Mikro-elektro-mechanické systémy; skenovací elektronový mikroskop.; uhlíkové nanotrubice

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/770

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-608488


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses