Original title:
Scintilační a ionizační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Translated title:
Scintillation and Ionization SE Detector for VP SEM
Authors:
Novák, Pavel ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2009
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a používanými detektory sekundárních elektronů. Základním zaměřením práce je objasnění funkce používaných detektorů sekundárních elektronů a srovnání těchto detektorů. Jmenovitě se jedná o scintilační detektor a ionizační detektor.
Submitted work deals with problems of environmental scanning electron microscopy (EREM) and used detectors of secondary electrons.
Keywords:
Environmental scanning electron microscopy; ionization detector; scintillation detector; secondary electrons; Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie; ionizační detektor; scintilační detektor; sekundární elektrony
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/2888