Název: Studium plazmových produktů pomocí hmotnostní spektrometrie
Překlad názvu: Study of plasma species by mass spectroscopy
Autoři: Bureš, Michal ; Čáslavský, Josef (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2008
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstrakt: [cze] [eng]
Tenké vrstvy plazmových polymerů z tetravinylsilanu a směsi tetravinylsilanu s kyslíkem byly připravovány na křemíkových substrátech. Kyslík byl přidáván k tetravinylsilanu pro zlepšení kompatibility tenkých vrstev se skleněnými substráty. Hmotnostní spektrometrie byla využita během čištění depoziční komory ke kontrole zbytkových plynů a čistoty pracovních plynů a ke sledování neutrálních produktů a stability výboje během depozice. Plasma polymer films of tetravinylsilane and mixture of tetravinylsilane and oxygen gas were deposited on silicon wafers. Oxygen gas was mixed in tetravinylsilane to improve the compatibility of thin films on glass substrates. Mass spectroscopy was employed during the cleaning of the deposition chamber to check residual gases and process gases, during plasma deposition to monitor neutral plasma species and to follow plasma stability.
Klíčová slova: argon; hmotnostní spektrometrie; kyslík; plazma; plazmová polymerace; tenké vrstvy; tetravinylsilan; zbytkové plyny; argon; mass spectroscopy; oxygen; plasma; plasma polymerization; residual gases; tetravinylsilane; thin films

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/13608

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-600251


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce