Název:
Metodika stanovení tloušťky odprášených vrstev při využití XPS hloubkového destruktivního profilování
Překlad názvu:
Thickness determination methodology of etched layers using destructive XPS depth profiling
Autoři:
Bušo, Marek ; Wasserbauer, Jaromír (oponent) ; Kalina, Lukáš (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2015
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstrakt: [cze][eng]
Práce se zabývá problematikou stanovení tloušťky korozních vrstev feritické oceli pomocí rentgenového fotoelektronového spektrometru (XPS) vybaveného iontovým dělem. Výzkum zahrnuje přípravu vzorků oceli v různých korozních prostředích, které jsou pak analyzovány a vyhodnoceny. Dle zjištěných dat je stanovena tloušťka korozních vrstev oceli.
Bachelor´s thesis deals with the thickness determination of the corrosion layers of ferritic steel by X-ray photoelectron spectroscopy equipped with the ion gun. The research involves the preparation of steel samples in various corrosive environments, which are analysed and evaluated. According to the observed data is determined thickness of the corrosion layers of steel.
Klíčová slova:
hloubkové profilování; odprašování iontovým dělem; rentgenová fotoelektronová spektroskopie; depth profiling; ion gun etching; X-ray photoelectron spectroscopy
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/40664