Original title:
Metodika stanovení tloušťky odprášených vrstev při využití XPS hloubkového destruktivního profilování
Translated title:
Thickness determination methodology of etched layers using destructive XPS depth profiling
Authors:
Bušo, Marek ; Wasserbauer, Jaromír (referee) ; Kalina, Lukáš (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2015
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická Abstract:
[cze][eng]
Práce se zabývá problematikou stanovení tloušťky korozních vrstev feritické oceli pomocí rentgenového fotoelektronového spektrometru (XPS) vybaveného iontovým dělem. Výzkum zahrnuje přípravu vzorků oceli v různých korozních prostředích, které jsou pak analyzovány a vyhodnoceny. Dle zjištěných dat je stanovena tloušťka korozních vrstev oceli.
Bachelor´s thesis deals with the thickness determination of the corrosion layers of ferritic steel by X-ray photoelectron spectroscopy equipped with the ion gun. The research involves the preparation of steel samples in various corrosive environments, which are analysed and evaluated. According to the observed data is determined thickness of the corrosion layers of steel.
Keywords:
depth profiling; ion gun etching; X-ray photoelectron spectroscopy; hloubkové profilování; odprašování iontovým dělem; rentgenová fotoelektronová spektroskopie
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/40664