Název: Metodika stanovení tloušťky odprášených vrstev při využití XPS hloubkového destruktivního profilování
Překlad názvu: Thickness determination methodology of etched layers using destructive XPS depth profiling
Autoři: Bušo, Marek ; Wasserbauer, Jaromír (oponent) ; Kalina, Lukáš (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2015
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: hloubkové profilování; odprašování iontovým dělem; rentgenová fotoelektronová spektroskopie; depth profiling; ion gun etching; X-ray photoelectron spectroscopy

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/40664

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-595809


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce
 Záznam vytvořen dne 2024-04-02, naposledy upraven 2024-04-03.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet