Original title: Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM
Translated title: Scintillation SE detector for VP SEM
Authors: Račanský, David ; Čudek, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2011
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
V první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci. First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of the variable pressure scanning electron microscope, includes detection of secondary electrons with a view to a scintillation detector. The first applied part of the thesis is focused on prediction, measuring and setting-up optional working parley in vacuum electrodes scintillation detector system, with a stress small diameter hole in screenings C1 and C2. Second applied part was verify a change of working distance between sample and detector in consequence to optional solution for another work.
Keywords: primary electron beam (PE); scintillation detector (SD); secondary electrons (SE).; Various pressure scanning electron microscope VP SEM; Everhart-Thornley detektor; ionizační detektor.; primární elektrony (PE); Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku; scintilační detektor SE pro VP SEM; sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE)

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/8165

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-590969


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses