Original title:
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM
Translated title:
Scintillation SE detector for VP SEM
Authors:
Račanský, David ; Čudek, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2011
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
V první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci.
First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of the variable pressure scanning electron microscope, includes detection of secondary electrons with a view to a scintillation detector. The first applied part of the thesis is focused on prediction, measuring and setting-up optional working parley in vacuum electrodes scintillation detector system, with a stress small diameter hole in screenings C1 and C2. Second applied part was verify a change of working distance between sample and detector in consequence to optional solution for another work.
Keywords:
primary electron beam (PE); scintillation detector (SD); secondary electrons (SE).; Various pressure scanning electron microscope VP SEM; Everhart-Thornley detektor; ionizační detektor.; primární elektrony (PE); Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku; scintilační detektor SE pro VP SEM; sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE)
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/8165