Název:
Měření vázaného náboje pomocí povrchového napětí
Překlad názvu:
Fixed-charge examination by surface energy measurement
Autoři:
Mojrová, Barbora ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Hégr, Ondřej (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2011
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Tato práce se zabývá vývojem alternativní metody měření vázaného náboje v tenkých dielektrických vrstvách pomocí povrchového napětí. Přítomnost náboje v pasivační vrstvě se projevuje tzv. Back Surface Field (BSF) efektem, který přispívá ke snižování povrchové rekombinační rychlosti na zadní straně solárního článku. V práci jsou popsána experimentální měření dielektrických vrstev Al2O3, AlN, SiNx, Y2O3 a PSG deponovaných na krystalickém křemíku. Povrchové napětí (tj. volná povrchová energie) je vyhodnocována z velikosti úhlu smáčení (kontaktního úhlu) pomocí See Systemu.
This work is deal with development of alternative method measuring fixed charge in thin dielectric layers by surface tension. Presence fixed charge takes effect so-called Back Surface Field (BFS), which helps to decrease surface recombination velocity on back side of solar cell. In work is described experimental measuring on dielectric layers Al2O3, AlN, SiNx, Y2O3 and PSG deposit on crystalline silicon wafers. Surface tension (it is the same like surface free energy) is analyzed from contact angle size using See System.
Klíčová slova:
Antireflexní vrstva; Back surface field; Kontaktní úhel; Pasivační vrstva; Povrchové napětí; See System; Solární článek; Volná povrchová energie; Vázaný náboj; Antireflection coating; Back surface field; Contact angle; Fixed charge; Passivation layers; See System; Solar cell; Surface free energy; Surface tension
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/1913