Original title: Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Translated title: Scintillation SE Detector for VP SEM
Authors: Kozelský, Adam ; Čudek, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2009
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí. This work contains description of basic properties and principles of electron microscopy focused on scanning electron microscopy. It describes construction solutions of a microscope, interaction between electron beam and sample, generation of backscattered and secondary electrons. Next chapters are dealing with development of electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. The experimental part of this thesis is focuses on the detection of secondary electrons with scintillation detector in environmental scanning electron microscope at higher pressure in the specimen chamber. Concretely is focused on optimization of collecting grid voltage and measurement of pressure dependences.
Keywords: back scattered electrons (BSE); electron gun; environmental scanning electron microscope (ESEM); Scanning electron microscope (SEM); scintillation detector (SD); secondary electrons (SE); transmission electron microscopy (TEM); elektronová tryska; environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM).; Rastrovací elektronový mikroskop (REM); scintilační detektor (SD); sekundární elektrony (SE); transmisní elektronová mikroskopie (TEM); zpětně odražené elektrony (BSE)

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/2884

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-586237


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses