Název:
Tvorba nanostruktur využitím mikroskopu AFM
Překlad názvu:
Fabrication of Nanostructures Using Atomic Force Microscopy
Autoři:
Doupal, Antonín ; Škoda, David (oponent) ; Bartošík, Miroslav (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2008
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Tato bakalářská práce pojednává o tvorbě nanostruktur využitím mikroskopie atomárních sil. Teoretická část poskytuje stručný úvod do mikroskopie atomárních sil a lokální anodické oxidace a je založena na literární rešerši. Experimentální část je zaměřena na vyšetřování závislosti operačních parametrů (napětí mezi hrotem a vzorkem, rychlost hrotu) na rozměrech LAO nanostruktur na Si (111). Dále je na těchto oxidových nanostrukturách pozorován a analyzován selektivní růst kobaltu a galia .
This bachelor thesis deals with fabrication of nanostructures using atomic force microscopy. The theoretical part gives a brief introduction into atomic force microscopy and local anodic oxidation and it is based on literature retrieval. The experimental part is concentrated on investigation of influence of operational parameters (tip-sample voltage, speed of the tip) on dimensions of LAO nanostructures on Si(111). Further the selective growth of cobalt and gallium on such oxide nanostructures is observed and analysed.
Klíčová slova:
AFM; Co; Ga; LAO; Nanolitografie; Si(111); AFM; Co; Ga; LAO; Nanolithography; Si(111)
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/15423