Original title:
Tvorba nanostruktur využitím mikroskopu AFM
Translated title:
Fabrication of Nanostructures Using Atomic Force Microscopy
Authors:
Doupal, Antonín ; Škoda, David (referee) ; Bartošík, Miroslav (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2008
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato bakalářská práce pojednává o tvorbě nanostruktur využitím mikroskopie atomárních sil. Teoretická část poskytuje stručný úvod do mikroskopie atomárních sil a lokální anodické oxidace a je založena na literární rešerši. Experimentální část je zaměřena na vyšetřování závislosti operačních parametrů (napětí mezi hrotem a vzorkem, rychlost hrotu) na rozměrech LAO nanostruktur na Si (111). Dále je na těchto oxidových nanostrukturách pozorován a analyzován selektivní růst kobaltu a galia .
This bachelor thesis deals with fabrication of nanostructures using atomic force microscopy. The theoretical part gives a brief introduction into atomic force microscopy and local anodic oxidation and it is based on literature retrieval. The experimental part is concentrated on investigation of influence of operational parameters (tip-sample voltage, speed of the tip) on dimensions of LAO nanostructures on Si(111). Further the selective growth of cobalt and gallium on such oxide nanostructures is observed and analysed.
Keywords:
AFM; Co; Ga; LAO; Nanolithography; Si(111); AFM; Co; Ga; LAO; Nanolitografie; Si(111)
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/15423