Název: Konstrukce odměřovacího systému pro systém reaktivního iontového leptání
Překlad názvu: Mechanical design of measurement system for reactive ion etching system
Autoři: Maňka, Tadeáš ; Antoš, Martin (oponent) ; Šerý, Mojmír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2016
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: interferometrie; kinematický držák; Michelsonův interferometr; přesné měření délek; reaktivní iontové leptání; RIE; interferometry; Michelson interferometer; precise measuring of length; reactive ion etching; RIE

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/60675

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-546691


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce
 Záznam vytvořen dne 2024-04-02, naposledy upraven 2024-04-03.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet