Original title: Konstrukce odměřovacího systému pro systém reaktivního iontového leptání
Translated title: Mechanical design of measurement system for reactive ion etching system
Authors: Maňka, Tadeáš ; Antoš, Martin (referee) ; Šerý, Mojmír (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2016
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Cílem této diplomové práce je zkonstruovat funkční odměřovací systém pro systém reaktivního iontového leptání (RIE). V práci je použit předchozí návrh Michelsonova interferometru vyvinutého na Ústavu přístrojové techniky, v.v.i. (ÚPT). Teoretická část práce se věnuje problematice interferenčních metod pro přesné měření délek. V další části je popsán proces leptání pomocí RIE. V praktické části je navržena testovací sestava z dílů firmy Thorlabs. Na ní je odzkoušena funkčnost a přesnost měření je porovnána s profilometrem. Dalším krokem je optimalizace navržené sestavy. Byla vytvořena technická dokumentace a vyrobena odměřovací aparatura na míru pro účely pracovníků ÚPT. The aim of this work is to design fully working measuring system for the reactive ion etching system (RIE). The Michelson interfometer, previously developed in Ústav přístrojové techniky, v.v.i., is used in this work. The theoretical part is aimed at description of interferometric methods for precise measuring of length. In next part the etching proces with RIE is described. In practical part the testing system was constructed from the parts of Thorlabs company . The functionality was controlled with this system and the results of measuring were compared with the profilometer. In next step technical drawings were created and the whole system was made.
Keywords: interferometry; Michelson interferometer; precise measuring of length; reactive ion etching; RIE; interferometrie; kinematický držák; Michelsonův interferometr; přesné měření délek; reaktivní iontové leptání; RIE

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/60675

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-546691


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses