Název: Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al
Překlad názvu: Design of an effusion cell for the deposition of Al ultrathin layers
Autoři: Řihák, Radek ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2014
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem efuzní cely pro tvorbu ultrathenkých vrstev hliníku v podmínkách ultravysokého vakua. Byly navrhnuty dvě varianty lišící se typem ohřevu. První využívá energie urychlených elektronů, druhý tepelné záření. Zbylé části cel jsou plně zaměnitelné. This Bachelor's thesis deals with design and construction of the effusion cell for deposition ultrathin layers of aluminum in ultrahigh vacuum conditions. Two types of effusion were designed. Differences are only in type of heating. The first one exploit energy of accelerated electrons and the second one exploit thermal radiation. Anothe parts of cells are fully interchangeable.
Klíčová slova: atomární svazek; Efuzní cela; hliník; MBE; UH; ultratenké vrstvy; aluminum; atom beam; Effusion cell; MBE; UHV; ultrathin layers

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/33302

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-542823


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce