Název:
Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS
Překlad názvu:
Ultrathin film analysis by SIMS and TOF-LEIS
Autoři:
Duda, Radek ; Lörinčík, Jan (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2008
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Studium možností hloubkového profilování vrstev kombinací metod SIMS a TOF-LEIS.
Study of possibilities of thin layers depth profiling by combined use of SIMS and ToF-LEIS methods.
Klíčová slova:
hloubkové profilování; SIMS; TOF-LEIS; depth profiling; SIMS; ToF-LEIS
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/15415