Original title:
Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS
Translated title:
Ultrathin film analysis by SIMS and TOF-LEIS
Authors:
Duda, Radek ; Lörinčík, Jan (referee) ; Bábor, Petr (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2008
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Studium možností hloubkového profilování vrstev kombinací metod SIMS a TOF-LEIS.
Study of possibilities of thin layers depth profiling by combined use of SIMS and ToF-LEIS methods.
Keywords:
depth profiling; SIMS; ToF-LEIS; hloubkové profilování; SIMS; TOF-LEIS
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/15415