Original title:
SMV-2023-02: Reliéfní optické prvky pro tvarování světelných svazků
Translated title:
SMV-2023-02: Relief optical elements for shaping light bundles
Authors:
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav Document type: Research reports
Year:
2023
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti reliéfních optických prvků pro tvarování světelných svazků, metrologie vzorků reliéfních optických prvků s využitím různých mikroskopických technik s ohledem na analýzu degradací reliéfu ve výrobních procesech, poradenství v oblasti litografických procesů se zaměřením na zápis elektronovým svazkem a následné replikační procesy. Návrh a optimalizace mikrooptických struktur pro různé konfigurace projektorových osvětlovacích systémů, metrologie vybraných optických mikrostrukturovaných reliéfů a analýza optické funkce, optimalizaci materiálů pro replikaci mikrooptických struktur, poradenství v oblasti replikace hlubokých mikrooptických prvků na různé optické povrchy.Research and development in the field of relief optical elements for shaping light bundles, metrology of samples of relief optical elements using various microscopic techniques with regard to analysis of relief degradation in production processes, consulting in the field of lithographic processes focusing on electron beam and subsequent replication processes. Design and optimization of microoptic structures for various configurations of projector lighting systems, metrology of selected optical microstructured reliefs and optical function analysis, optimization of materials for replication of microoptical structures, consulting in the field of replication of deep microoptic elements for various optical surfaces.
Keywords:
e-beam lithography; relief optical elements
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: https://hdl.handle.net/11104/0348665