Original title: SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Translated title: SMV-2023-06: Development of test specimens for SEM
Authors: Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Meluzín, Petr ; Košelová, Zuzana ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Knápek, Alexandr
Document type: Research reports
Year: 2023
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Studie se zaměřuje na výzkum a vývoj přesných kalibračních vzorků s reliéfními strukturami. Tyto vzorky jsou navrženy ke kalibraci zobrazování ve skenovacích elektronových mikroskopech (SEM). Testovací vzory umožňují ověření a kalibraci zvětšení, ortogonality a geometrického zkreslení. Příprava kalibračních vzorků využívá mikro litografické techniky přizpůsobené pro zpracování křemíku a dalších související technologické postupy. The study focuses on the research and development of precise calibration samples featuring relief structures. These samples are designed for calibrating parameters in scanning electron microscopes (SEM). The testing patterns enable the verification and calibration of magnification, orthogonality, and geometric distortion. The preparation of calibration specimens utilizes micro lithographic techniques tailored for silicon processing and other relevant technological procedures.
Keywords: e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: https://hdl.handle.net/11104/0347946

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-537227


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports