Original title:
SMV-2022-57: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Translated title:
SMV-2022-57: Development of test specimens for SEM
Authors:
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav Document type: Research reports
Year:
2022
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Výzkum, vývoj a realizace rozměrově přesných vzorků s reliéfními strukturami. Vzorky jsou určeny pro kalibraci parametrů rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Motivy struktur umožňují kontrolu a kalibraci zvětšení, pravoúhlosti a geometrického zkreslení. Pro přípravu preparátů jsou vyvíjeny mikro litografické techniky opracování křemíku a další související technologické postupy.Research and development of accurate calibration samples with relief structures. The samples are intended for parameter calibration of scanning electron microscope (REM). Testing patterns allow to check and calibrate magnification, orthogonality and geometric distortion. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.
Keywords:
e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: https://hdl.handle.net/11104/0337763