Název:
SMV-2022-39: Návrh, simulace a verifikace elektronově optických systémů
Překlad názvu:
SMV-2022-39: Electron optical systems design, simulations, and verification
Autoři:
Radlička, Tomáš Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2022
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] V rámci smluvního výzkum byl navržený systém pro detekci sekundárních elektronů v multibeam skenovacím elektronovém mikroskopu. Dále jsme pracovali na integraci a testech korektoru sférické aberace, který využívá diskontinuity elektrostatického pole na tenké grafénové membráně.The contractual research covered design of detection system of secondary electrons for the multibeam scanning electron microscope. We also worked on the integration and testing of the graphene foil lens corrector of the spherical aberration.
Klíčová slova:
aberrations; electron optical design; resolution
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: https://hdl.handle.net/11104/0337396