Original title:
SMV-2022-39: Návrh, simulace a verifikace elektronově optických systémů
Translated title:
SMV-2022-39: Electron optical systems design, simulations, and verification
Authors:
Radlička, Tomáš Document type: Research reports
Year:
2022
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] V rámci smluvního výzkum byl navržený systém pro detekci sekundárních elektronů v multibeam skenovacím elektronovém mikroskopu. Dále jsme pracovali na integraci a testech korektoru sférické aberace, který využívá diskontinuity elektrostatického pole na tenké grafénové membráně.The contractual research covered design of detection system of secondary electrons for the multibeam scanning electron microscope. We also worked on the integration and testing of the graphene foil lens corrector of the spherical aberration.
Keywords:
aberrations; electron optical design; resolution
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: https://hdl.handle.net/11104/0337396