Original title: Nové metody přípravy vzorků pro moderní rastrovací elektronovou mikroskopii
Translated title: New methods of sample preparation for modern scanning electron microscopy
Authors: Ambrož, Ondřej ; Čermák, Jan ; Mikmeková, Šárka
Document type: Papers
Conference/Event: Přínos metalografie pro řešení výrobních problémů /15./, Mariánské Lázně (CZ), 20210921
Year: 2021
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Moderní rastrovací elektronové mikroskopy (SEM) jsou vybaveny velmi sofistikovaným detekčním systémem, který umožňuje detekovat signální elektrony současně pomocí několika různě umístěných detektorů. Tímto způsobem dochází k filtraci signálních elektronů podle energie a úhlu. Efektivní filtrace signálu v rastrovací elektronové mikroskopii současně s možností použití velmi nízkých dopadových energií primárního svazku vede k extrémní citlivosti této metody na kvalitu povrchu vzorku a jeho stav. Současné metalografické metody přípravy vzorků začínají být nedostatečné pro pokročilé zobrazování v moderních SEM instrumentech. Klasická příprava vzorků se ukazuje jako nevhodná zejména pro nízkonapěťovou rastrovací elektronovou mikroskopii. V práci budou prezentovány první výsledky experimentů vlivu běžných metod přípravy na stav povrchu a možnost odlišení jednotlivých fází TRIP oceli pomocí pokročilých technik elektronové mikroskopie a budou také nastíněny možnosti nových postupů využívajících například robotizace. Modern scanning electron microscopes (SEM) are equipped with a very sophisticated detection system that allows the detection of signal electrons by several differently located detectors simultaneously. Signal electrons are filtered according to energy and angle. Effective signal filtering in SEM together with the possibility of using very low impact energies of the primary beam leads to the extreme sensitivity of this method to the quality of the sample surface. Current metallographic methods of sample preparation are becoming insufficient for advanced imaging in modern SEM instruments. Classical sample preparation proves to be completely unsuitable especially for low-voltage scanning electron microscopy. The work will present the first results of the influence of preparation methods on the surface condition and the possibility of differentiating the individual phases of TRIP steel using advanced electron microscopy techniques. The possibilities of new procedures using robotics will be shown.
Keywords: automation; SEM; TRIP steel
Project no.: TN01000008
Funding provider: GA TA ČR
Host item entry: 15. konference Přínos metalografie pro řešení výrobních problémů. Sborník přednášek, ISBN 978-80-01-06883-0

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at external website.
External URL: http://www.metalografie.vzuplzen.cz/doc/sbornik-Metalografie2021.pdf
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0326590

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-508394


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers