Název: Nové metody přípravy vzorků pro moderní rastrovací elektronovou mikroskopii
Překlad názvu: New methods of sample preparation for modern scanning electron microscopy
Autoři: Ambrož, Ondřej ; Čermák, Jan ; Mikmeková, Šárka
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Přínos metalografie pro řešení výrobních problémů /15./, Mariánské Lázně (CZ), 20210921
Rok: 2021
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Moderní rastrovací elektronové mikroskopy (SEM) jsou vybaveny velmi sofistikovaným detekčním systémem, který umožňuje detekovat signální elektrony současně pomocí několika různě umístěných detektorů. Tímto způsobem dochází k filtraci signálních elektronů podle energie a úhlu. Efektivní filtrace signálu v rastrovací elektronové mikroskopii současně s možností použití velmi nízkých dopadových energií primárního svazku vede k extrémní citlivosti této metody na kvalitu povrchu vzorku a jeho stav. Současné metalografické metody přípravy vzorků začínají být nedostatečné pro pokročilé zobrazování v moderních SEM instrumentech. Klasická příprava vzorků se ukazuje jako nevhodná zejména pro nízkonapěťovou rastrovací elektronovou mikroskopii. V práci budou prezentovány první výsledky experimentů vlivu běžných metod přípravy na stav povrchu a možnost odlišení jednotlivých fází TRIP oceli pomocí pokročilých technik elektronové mikroskopie a budou také nastíněny možnosti nových postupů využívajících například robotizace. Modern scanning electron microscopes (SEM) are equipped with a very sophisticated detection system that allows the detection of signal electrons by several differently located detectors simultaneously. Signal electrons are filtered according to energy and angle. Effective signal filtering in SEM together with the possibility of using very low impact energies of the primary beam leads to the extreme sensitivity of this method to the quality of the sample surface. Current metallographic methods of sample preparation are becoming insufficient for advanced imaging in modern SEM instruments. Classical sample preparation proves to be completely unsuitable especially for low-voltage scanning electron microscopy. The work will present the first results of the influence of preparation methods on the surface condition and the possibility of differentiating the individual phases of TRIP steel using advanced electron microscopy techniques. The possibilities of new procedures using robotics will be shown.
Klíčová slova: automation; SEM; TRIP steel
Číslo projektu: TN01000008
Poskytovatel projektu: GA TA ČR
Zdrojový dokument: 15. konference Přínos metalografie pro řešení výrobních problémů. Sborník přednášek, ISBN 978-80-01-06883-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný na externích webových stránkách.
Externí umístění souboru: http://www.metalografie.vzuplzen.cz/doc/sbornik-Metalografie2021.pdf
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0326590

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-508394


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference