Název: SMV-2020-45: Speciální mutlivrstvy TiO2/SiO2 pro sensorické aplikace
Překlad názvu: SMV-2020-45: Custom TiO2/SiO2 multilayer coatings for optical sensing
Autoři: Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2020
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Konstrukce, vývoj a depozice vzorků interferenčních filtrů pomocí technologie vakuového napařování elektronovým svazkem. Depozice je provedena na substráty dodané zákazníkem. Design, development and deposition of interference filters using vacuum electron beam evaporation. The filters are deposited on substrates supplied by the customer.
Klíčová slova: e-beam evaporation; interference filters; thin film optics

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0313882

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-432587


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy