Název:
Use of electronics product definition for the development of differentially pumped chamber
Autoři:
Maxa, J. ; Neděla, Vilém Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: EDS '10 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference, Brno (CZ), 2010-09-01 / 2010-09-02
Rok:
2010
Jazyk:
eng
Abstrakt: Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination various types of specimens and their phases. The article analyses 3nd compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system.
Klíčová slova:
CAx; Cosmos; EREM; FEI; SolidWorks Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GAP102/10/1410 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: EDS'10 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2010 - Proceedings, ISBN 978-80-214-4138-5
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0192070