Název: Electron optical properties of the cathode lens combined with a focusing magnetic/immersion-magnetic lens
Autoři: Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./, Skalský dvůr (CZ), 2010-05-31 / 2010-06-04
Rok: 2010
Jazyk: eng
Abstrakt: Cathode lens (CL) is an electron optical element commonly used in the photo-emission electron microscopy (PEEM), low energy electron microscopy (LEEM) and last but not least in the scanning electron microscopy (SEM). We have used the EOD software for calculation of aberration coefficients for the sequential and overlapped fields.
Klíčová slova: cathode lens; EOD software; LEEM; PEEM; SEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), IAA100650902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-6842-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0190599

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-41920


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference