Název: Modular Monte Carlo Simulation Including Secondary Electron Raytracing
Autoři: Gnieser, D. ; Frase, C. G. ; Bosse, H. ; Konvalina, Ivo ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: A Monte Carlo simulation program for the modeling of image formation in scanning electron microscopy is presented. A key feature of the program is its modular design, so the different aspects of image formation (i.e. forming of the electron probe, specimen topography model, probe-sample-interaction, electron detector model, image processing) are arranged in separate program modules. The program is written in C++ and uses object-oriented programming techniques. Data exchange between the different program modules is performed by defined software interfaces. Thus, third party simulation code can easily be integrated into the program.
Klíčová slova: Monte Carlo simulation; SEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0180235

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-40999


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference