Název:
Surface assessment using profilometer Form Talysurf series 2
Překlad názvu:
Hodnocení povrchu pomocí profilometru Form Talysurf series 2
Autoři:
Havelková, Martina ; Hiklová, Helena ; Chmelíčková, Hana Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: SILICON 2008. Scientific and Business Conference /11./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-11-04 / 2008-11-07
Rok:
2008
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] The performance of optical components, some biomedical materials or computer chips greatly depends on the shape and finish of the surface. Creating precise finishes on such objects requires precise ways of measuring the shape and structure of the surface. Příspěvek informuje o parametrech a možnostech měření profilometrem Form Talysurf, následně o možnostech analýzy naměřených dat. Tyto možnosti byly demonstrovány na proměřených křemíkových vzorcích, tepelně ovlivněných pulsním laserem.
Klíčová slova:
Form Talysurf series 2; profilometer Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP), 1M06002 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA MŠk Zdrojový dokument: SILICON 2008. 11th Scientific and Business Conference, ISBN 978-80-254-3278-5
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0169714