Original title:
Surface assessment using profilometer Form Talysurf series 2
Translated title:
Hodnocení povrchu pomocí profilometru Form Talysurf series 2
Authors:
Havelková, Martina ; Hiklová, Helena ; Chmelíčková, Hana Document type: Papers Conference/Event: SILICON 2008. Scientific and Business Conference /11./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-11-04 / 2008-11-07
Year:
2008
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] The performance of optical components, some biomedical materials or computer chips greatly depends on the shape and finish of the surface. Creating precise finishes on such objects requires precise ways of measuring the shape and structure of the surface. Příspěvek informuje o parametrech a možnostech měření profilometrem Form Talysurf, následně o možnostech analýzy naměřených dat. Tyto možnosti byly demonstrovány na proměřených křemíkových vzorcích, tepelně ovlivněných pulsním laserem.
Keywords:
Form Talysurf series 2; profilometer Project no.: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP), 1M06002 (CEP) Funding provider: GA AV ČR, GA MŠk Host item entry: SILICON 2008. 11th Scientific and Business Conference, ISBN 978-80-254-3278-5
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0169714