Original title:
Solving Complex Electron Optical Problems with EOD
Translated title:
Řešení složitých elektronově optických problémů v EOD
Authors:
Lencová, Bohumila Document type: Papers Conference/Event: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Year:
2008
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] The paper summarizes the possibilities of accurate computation of potential with the first order finite element method and highly accurate ray tracing in numerically computed fields, which were implemented in the EOD program. The use of the program is illustrated on the results of computation of third order aberration coefficients of an electrostatic mirror and by the computation of correctors of axial aberrations of electron microscopes.Příspěvek provádí shrnutí možností přesného výpočtu potenciálu metodou konečných prvků prvního řádu a vysoce přesného trasování částic v numericky spočtených polích, jak bylo implementováno v programu EOD. Použití programu je ilustrováno na výsledcích výpočtu koeficientů vad třetího řádu elektrostatického elektronového zrcadla z výsledků trasování a výpočty korektorů osových vad elektronových mikroskopů.
Keywords:
electron mirror; electron optical design; hexapole corrector Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0165654