Název:
Solving Complex Electron Optical Problems with EOD
Překlad názvu:
Řešení složitých elektronově optických problémů v EOD
Autoři:
Lencová, Bohumila Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Rok:
2008
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] The paper summarizes the possibilities of accurate computation of potential with the first order finite element method and highly accurate ray tracing in numerically computed fields, which were implemented in the EOD program. The use of the program is illustrated on the results of computation of third order aberration coefficients of an electrostatic mirror and by the computation of correctors of axial aberrations of electron microscopes.Příspěvek provádí shrnutí možností přesného výpočtu potenciálu metodou konečných prvků prvního řádu a vysoce přesného trasování částic v numericky spočtených polích, jak bylo implementováno v programu EOD. Použití programu je ilustrováno na výsledcích výpočtu koeficientů vad třetího řádu elektrostatického elektronového zrcadla z výsledků trasování a výpočty korektorů osových vad elektronových mikroskopů.
Klíčová slova:
electron mirror; electron optical design; hexapole corrector Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165654