Název: Scanning Low Energy Electron Microscopy of Doped Silicon at Units of EV
Překlad názvu: Zobrazení dopovaného křemíku na velmi nízkých energiích pomocí rastrovacího elektronového mikroskopu
Autoři: Hovorka, Miloš ; Mikmeková, Šárka ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]

Klíčová slova: dopant; silicon; SLEEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), IAA100650803 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165651

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39449


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
 Záznam vytvořen dne 2011-07-01, naposledy upraven 2024-01-26.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet