Název:
Plazmatický povlakovací systém dlouhých elektricky vodivých trubic
Překlad názvu:
Plasma deposition system for long electrically conductive tubes
Autoři:
Hubička, Zdeněk Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2018
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Zpráva popisuje plazmatickou metodu využívající pulzní výboj v duté katodě pro povlakování dlouhých elektricky vodivých trubek.The report describes a plasma deposition method with pulsed hollow cathode for coatings of long electrically conductive tubes.
Klíčová slova:
hollow cathode discharge; plasma; thin film Číslo projektu: TG02010056 (CEP) Poskytovatel projektu: GA TA ČR
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0293028