Original title:
Plazmatický povlakovací systém dlouhých elektricky vodivých trubic
Translated title:
Plasma deposition system for long electrically conductive tubes
Authors:
Hubička, Zdeněk Document type: Research reports
Year:
2018
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Zpráva popisuje plazmatickou metodu využívající pulzní výboj v duté katodě pro povlakování dlouhých elektricky vodivých trubek.The report describes a plasma deposition method with pulsed hollow cathode for coatings of long electrically conductive tubes.
Keywords:
hollow cathode discharge; plasma; thin film Project no.: TG02010056 (CEP) Funding provider: GA TA ČR
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0293028