Název: Recovery of Waste Semiconductors for CVD Precursors.
Autoři: Bumba, Jakub ; Dytrych, Pavel ; Fajgar, Radek ; Dřínek, Vladislav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Conference on Chemical Technology /6./, Mikulov (CZ), 20180416
Rok: 2018
Jazyk: eng
Abstrakt: The newly patented method for regeneration of ultrapure silicon and germanium via magnesium silicide and magnesium germanide from waste photovoltaic (PV) cells, broken germanium lenses and waste magnesium chips was utilized to obtain chemical vapour deposition (CVD) precursors for application in electronics, optics or nanoparticles synthesis. Magnesium silicide and germanide were prepared directly by thermal synthesis from waste materials in optimized tube reactor at 400°C and 5 Pa. X-Ray Diffraction (XRD) confirmed 97.9% respective 95% purity of products. The presence of silicon and germanium hydrides (CVD precursors) prepared by acid hydrolysis in the second step of the process was verified by Gas Chromatography–Mass Spectroscopy (GC/MS) and Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR). The crude, unrefined mixture of silicon hydrides served as raw material for CVD experiment at different substrates. SEM images confirmed occurrence of various micro and nano particles which could be used in electronics, optics and catalysis.
Klíčová slova: semiconductor industry; sythesis; waste photovoltaic panels
Číslo projektu: GA15-14228S (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 6th International Conference on Chemical Technology, ISBN 978-80-86238-77-7, ISSN 2336-8128
Práva: Dílo je chráněno podle autorského zákona č. 121/2000 Sb.

Instituce: Ústav chemických procesů AV ČR (web)
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0291890

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-391516


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav chemických procesů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference