Original title:
SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů
Translated title:
SMV-2018-20: Electron optical propertis of the multibeam electron source
Authors:
Radlička, Tomáš Document type: Research reports
Year:
2018
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Elektronový svazek je generovaný v jednom auto-emisním elektronovém zdroji, a na jednotlivé se svazečky se rozdělí na speciální apertuře, na které je 14x14 malých kruhových aperturek. Ty zároveň fungují jako čočky pro každý svazeček. Byla studována možnost korekce sklenutí pole a astigmatizmu a vzájemný vliv jednotlivých aperturek pomoci 3D výpočtu pole.The electron beam is generated in the field-emission electron source and it is separated to number of indiviual beamlets in the aperture array containg 14x14 small apertures – aperture lenses. We studied possible correction of field curvature and astigmatism as well as influence of surrounding apertures on the properties of the electron beam.
Keywords:
electron source; multi-beam SEM
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0291421