Název: SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů
Překlad názvu: SMV-2018-20: Electron optical propertis of the multibeam electron source
Autoři: Radlička, Tomáš
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Elektronový svazek je generovaný v jednom auto-emisním elektronovém zdroji, a na jednotlivé se svazečky se rozdělí na speciální apertuře, na které je 14x14 malých kruhových aperturek. Ty zároveň fungují jako čočky pro každý svazeček. Byla studována možnost korekce sklenutí pole a astigmatizmu a vzájemný vliv jednotlivých aperturek pomoci 3D výpočtu pole. The electron beam is generated in the field-emission electron source and it is separated to number of indiviual beamlets in the aperture array containg 14x14 small apertures – aperture lenses. We studied possible correction of field curvature and astigmatism as well as influence of surrounding apertures on the properties of the electron beam.
Klíčová slova: electron source; multi-beam SEM

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0291421

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-390773


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy