Original title: High resolution SEM of carbon micro - and nanostructures prepared in microwave discharge
Translated title: Analýza uhlíkových mikro- a nanostruktur připravených v mikrovlnných výbojích metodou SEM s vysokým rozlišením
Authors: Matějková, Jiřina ; Eliáš, M. ; Jašek, O. ; Frgala, Z. ; Bublan, M. ; Zajíčková, L. ; Rek, Antonín
Document type: Papers
Conference/Event: NANO´05 International Conference, Brno (CZ), 2005-11-08 / 2005-11-10
Year: 2005
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Two different carbon structures, carbon nanotubes (CNTs) and crystalline diamond films, were studied by a high resolution scanning electron microscope (SEM). Both forms of carbon were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) in microwave discharges.SEM observation of nanotubes were made by the high performance field emission SEM using SEI mode electron images. No charging effects were observed. Dva typy uhlíkových nanostruktur a to uhlíkové nanotrubky(CNTs) a krystalické diamantové vrstvy byly studovány skenovací elektronovou mikroskopií s vysokým rozlišením. Oba typy struktur byly připraveny pomocí metody PECVD v mikrovlnném výboji. Analýza nanotrubek probíhala při vysokém rozlišení v módu SEI, kde nebyly pozorovány žádné efekty nabíjení.
Keywords: carbon microstructures; carbon nanostructures; microwave discharge; scanning electron microscopy
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA202/05/0607 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Proceedings of International conference NANO'05, ISBN 80-214-3044-3

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0160984

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-38808


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers