Název:
High resolution SEM of carbon micro - and nanostructures prepared in microwave discharge
Překlad názvu:
Analýza uhlíkových mikro- a nanostruktur připravených v mikrovlnných výbojích metodou SEM s vysokým rozlišením
Autoři:
Matějková, Jiřina ; Eliáš, M. ; Jašek, O. ; Frgala, Z. ; Bublan, M. ; Zajíčková, L. ; Rek, Antonín Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: NANO´05 International Conference, Brno (CZ), 2005-11-08 / 2005-11-10
Rok:
2005
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Two different carbon structures, carbon nanotubes (CNTs) and crystalline diamond films, were studied by a high resolution scanning electron microscope (SEM). Both forms of carbon were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) in microwave discharges.SEM observation of nanotubes were made by the high performance field emission SEM using SEI mode electron images. No charging effects were observed. Dva typy uhlíkových nanostruktur a to uhlíkové nanotrubky(CNTs) a krystalické diamantové vrstvy byly studovány skenovací elektronovou mikroskopií s vysokým rozlišením. Oba typy struktur byly připraveny pomocí metody PECVD v mikrovlnném výboji. Analýza nanotrubek probíhala při vysokém rozlišení v módu SEI, kde nebyly pozorovány žádné efekty nabíjení.
Klíčová slova:
carbon microstructures; carbon nanostructures; microwave discharge; scanning electron microscopy Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA202/05/0607 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of International conference NANO'05, ISBN 80-214-3044-3
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0160984