Original title: Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM
Translated title: Imaging of doped silicon structures using PEEM and LVSEM
Authors: Hovorka, Miloš ; Mika, Filip ; Frank, Luděk
Document type: Papers
Conference/Event: Mikroskopie 2008, Nové Město na Moravě (CZ), 2008-02-07 / 2008-02-08
Year: 2008
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Studium dotovaných křemíkových struktur s využitím fotoemisní mikroskopie a nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopie. Study of doped silicon structures using photoemission electron microscopy and low-voltage scanning electron microscopy.
Keywords: dopants; PEEM; SEM; silicon
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Host item entry: Mikroskopie 2008, ISBN N

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0160916

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-38795


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers