Název: Grain Contrast in Very Low Energy SEM
Překlad názvu: Kontrast zrn na velmi nízkých energiích v REM
Autoři: Pokorná, Zuzana ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
When lowering energy of incident electrons to 100 eV and less, the elastic scattering becomes heavily anisotropic while the inelastic scattering progressively drops off. Energy dependence of the reflected signal becomes then specific to the crystal orientation. The experiments with the imaging of the metal polycrystals were done in the SEM equipped by the cathode lens. Při snižování energie dopadajících elektronů na 100 eV a méně se pružný rozptyl stává silně anizotropní, zatímco nepružný rozptyl výrazně klesá. Energiová závislost odraženého signálu se pak stává specifická pro určitou krystalovou orientaci. Experimenty umožňující takto zobrazení kovových polykrystalů byly provedeny v REM vybaveném katodovou čočkou.
Klíčová slova: grain contrast; SEM; very low energy
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA202/04/0281 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0160884

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-38788


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference