Název: Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates
Překlad názvu: Studium mechanických vlastností kovových vrstev na křemíkové podložce
Autoři: Dušek, J. ; Buršíková, V. ; Sobota, Jaroslav ; Buršík, Jiří ; Bláhová, O. ; Klapetek, P. ; Vladoiu, R. ; Navrátil, V.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Nano'07 - International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic /6./, Brno (CZ), 2007-10-08 / 2007-10-10
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The mechanical properties of metallic thin films deposited on silicon by magnetron sputtering and Thermoionic vacuum arc were studied using two different type of indentation methods - the depth sensing indentation test (DSI) and the continuous stiffness measurement method (CSM). Mechanické vlastnosti tenkých kovových vrstev deponovaných na křemíkovou podložku magnetronovým naprašováním a termoionickým vakuovým obloukem byly studovány použitím dvou různých indentačních metod DSI a CSM.
Klíčová slova: metallic surface layers; silicon substrates
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z20410507 (CEP), KAN311610701 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Nano'07 - 6th International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic, ISBN 978-80-214-3460-8

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0154191

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-38121


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference