Název:
Dynamic Behaviour of the Dopant Contrast in LVSEM
Překlad názvu:
Dynamické chování kontrastu dopantů v LVSEM
Autoři:
Mika, Filip ; Frank, Luděk Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Rok:
2007
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Contrast between differently doped areas in semiconductors can be observed in the secondary electron emission in a scanning electron microscope. Behaviour of the contrast in dependence on the incident electron dose and energy and on the presence of surface adlayers has been studied on different doped samples. Kontrast mezi rozdílně dopovanými oblastmi polovodiče může být pozorován v rastrovacím elektronové mikroskopu v signálu sekundárních elektronů. Na různě dopovaných vzorcích bylo studováno chování kontrastu v závislosti na dávce dopadajících elektronů, jejich energii a přítomnosti vrstvy nad povrchem polovodiče.
Klíčová slova:
dopant contrast; LVSEM; secondary electrons Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0152868