Original title: Optimization of Secondary Electron Detection by Segmental lonization Detector in Environmental SEM
Translated title: Optimalizace detekce sekundárních elektronů segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním REM
Authors: Černoch, P. ; Jirák, Josef
Document type: Papers
Conference/Event: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Year: 2007
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
The article deals with a prezentation of results of optimization of secondary electron detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope. The ionization detectors consisting of a varied electrode geometry and varied voltages on these electrodes, named segmental ionization detectors, are presented as a possibility to reach desired contrasts in a specimen image. In this work, images acquired by several detectors demonstrate detection of different types of signal electrons utilizing a specimen containing thin surface layers and a specimen made for a material contrast measurement. Článek se zabývá prezentací výsledků optimalizace detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Ionizační detektory mající různé geometrie elektrod a různá napětí na těchto elektrodách, tzv. segmentové ionizační detektory, jsou prezentovány jako možnost k dosažení požadovaných kontrastů v obraze vzorku. Snímky v této práci získané několika detektory demonstrují detekci různých typů elektronů s využitím vzorku obsahující tenké povrchové vrstvy a vzorku vyrobeného k měření materiálového kontrastu.
Keywords: environmental SEM; secondary electron detection; segmental ionization detector
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/0886 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0152866

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37984


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers