Název:
Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM
Překlad názvu:
Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu
Autoři:
Novák, Libor ; Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Rok:
2007
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information.Proces zpracování signálu v detektoru sekundárních elektronů Everhart-Thornleyho typu v rastrovacím elektronovém mikroskopu je analyzován pokud jde o statistiku signálu, detekční kvantovou účinnost a přenos informace a její případné ztráty.
Klíčová slova:
secondary electron images; SEM; signal processing Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0152591