Název:
Analýza vlivu umístění kónické clony v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání.
Překlad názvu:
Analysis of the impact of the conic aperture placement in the supersonic flow in the differentially pumped chamber
Autoři:
Rous, Miroslav ; Bílek, Michal (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2018
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
Práce je zaměřena na problematiku simulace dynamiky média v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Konkrétně se zabývá zkoumáním vlivu umístění kónické clony v diferenciálně čerpané komoře a šířkou čerpacího kanálu v této komoře. Teoretická část práce se zabývá obecně environmentálním rastrovacím mikroskopem a dalšími nástroji použitými v této práci, jako software ANSYS Fluen, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. V praktické části je práce zaměřena na zpracování dat z programu ANSYS Fluent a na jejich vyhodnocení.
The thesis is focused on the medium dynamics simulation in the environmental scanning electron microscope. Specifically, it researches (examines) the conical aperture location effect in the differential pumped chamber and the width of the pumping channel in this chamber. The theoretical part deals with the environmental scanning microscope generally and other tools used in this thesis, e.g. ANSYS Fluen software, fluid turbulence, medium free path of molecules and electrons scattering. In the practical part, the work is focused on data processing from the ANSYS Fluent program and on their evaluation.
Klíčová slova:
ANSYS Fluent; diferenciálně čerpaná komora; elektronová mikroskopie; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; ANSYS Fluent; Differentially pumped chamber; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/80898