Original title: Analýza vlivu umístění kónické clony v nadzvukovém proudu v komoře diferenciálního čerpání.
Translated title: Analysis of the impact of the conic aperture placement in the supersonic flow in the differentially pumped chamber
Authors: Rous, Miroslav ; Bílek, Michal (referee) ; Maxa, Jiří (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2018
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Práce je zaměřena na problematiku simulace dynamiky média v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Konkrétně se zabývá zkoumáním vlivu umístění kónické clony v diferenciálně čerpané komoře a šířkou čerpacího kanálu v této komoře. Teoretická část práce se zabývá obecně environmentálním rastrovacím mikroskopem a dalšími nástroji použitými v této práci, jako software ANSYS Fluen, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. V praktické části je práce zaměřena na zpracování dat z programu ANSYS Fluent a na jejich vyhodnocení. The thesis is focused on the medium dynamics simulation in the environmental scanning electron microscope. Specifically, it researches (examines) the conical aperture location effect in the differential pumped chamber and the width of the pumping channel in this chamber. The theoretical part deals with the environmental scanning microscope generally and other tools used in this thesis, e.g. ANSYS Fluen software, fluid turbulence, medium free path of molecules and electrons scattering. In the practical part, the work is focused on data processing from the ANSYS Fluent program and on their evaluation.
Keywords: ANSYS Fluent; Differentially pumped chamber; Electron microscopy; Environmental scanning electron microscope; ANSYS Fluent; diferenciálně čerpaná komora; elektronová mikroskopie; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/80898

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-377065


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses