Název: Využití iontových svazků pro analýzu materiálů
Překlad názvu: Ion beam analysis in material science
Autoři: Macková, Anna ; Bočan, Jiří ; Malinský, Petr
Typ dokumentu: Sborníky
Konference/Akce: Letní škola vakuové techniky, Štrbské pleso (SK), 2007-06-04 / 2007-06-07
Rok: 2007
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
V této práci prezentujeme výsledky aplikace iontových svazků pro studium materiálů, kombinace metod RBS, PIXE, ERDA nám umožňují komplexní prvkovou charakterizaci složitých struktur amorfních i krystalických určených pro optiku, elektroniku a studium difůzních procesů v dalších odvětví materiálových věd. Popisujeme zde nově instalované metody TOF-ERDA a RBS-channeling a jejich aplikace na zkoumané materiály a výsledky testování těchto metod na našem pracovišti. In this paper we presented our results of complementary research using ion beam analysis for study of materials. Combination of RBS, PIXE and ERDA method enables us to characterize the elemental composition and the elemental depth profiles of complex multi-layer systems or study complicated difussion processes in different applications of material sciences. We described the newly installed methods TOF-ERDA and RBS-channeling and their application on material characterization and the results of testing of these methods at our workplace.
Klíčová slova: ion beam analysis, TOF-ERDA, RBS
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10480505 (CEP), KJB100480601 (CEP), LC06041 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA MŠk

Instituce: Ústav jaderné fyziky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0149196

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37493


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav jaderné fyziky
Konferenční materiály > Sborníky